压缩气体控制器
HPC 1100 高压控制器采用的新设计理念
和技术，与莱特浩斯 0.1μm 的粒子计数器配
合，监测高压环境（30 到 150PSI）下的惰性
气体系统的工业气体污染。
应用：
过程认证
半导体工艺监测
平板过程监控
过程趋势分析
优点：
在正常操作期间零浪费惰性气体
输出压力接近大气压力
低噪声
小尺寸
易于系统集成
2年保修
国际销售和服务支持
规格：
气体粒径范围：0.1μm或更大的
流量范围：1立方英尺(28.3L/min)
输出压力: 接近大气压
输入压力：30-150 psi
兼容的气体：氮，氩，氦，CDA
运行时的噪声水平：< 60分贝
外壳：不锈钢